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南台科技大學研究生 暑期赴業界實習成果報告 實習公司：高雄金屬工業研究發展中心 微細線切割變角度v-cut尺寸精度之研究 實習公司指導人： 工程師 指導教授：戴子堯 研究生： 日期：中華民國96年**月**日至**月**日 總 目 錄 總目錄 圖目錄 表目錄 ㄧ、前言.............................................................................................簡介................................................................................... 二、精微技術簡介..................................................................4 精微製造技術分類......................................................................... 放電加工.....................................................................................5 線放電加工..............................................................................................................................................................................10 三、機台的實作.......四、文獻參考.................................................................................... ㄧ、前言 簡介(μm)尺寸的微細零組件、模具或量測儀器被廣泛應用於精密機械、航太工業、半導體、生物醫學工程等，隨著特殊合金冶金技術的提升，材料受硬度、強度、韌性、導電性的限制要求，此類材料利用傳統方式加工，不但加工不易且成本極為昂貴，因此使用傳統加工法較不符合經濟效益，發展出更高速、更精密的成形加工技術來降低成本，例如：微放電加工(Micro–EDM)、微銑削加工(Micro End Mills)、雷射加工(Laser Ablation)、蝕刻(Etching)等。 從生產這些微小零組件(Micro Parts)及微特徵元件(Micro Features)的技術層面來看，發展一套既能合乎大量生產且能降低成本的標準製程時為當務之急。超硬合金因具有極高的剛性及耐磨耗性，使得它非常適合使用於衝模或壓製模具中。但也由於硬度及耐磨耗等特性，反而使得超硬合金在傳統的切削及研磨上都不易成形，造成加工成本的增加。而微細線切割加工是利用電極與工件所產生的電火花，來對導電性材料進行加工，在放電製程中，電極並不與工件直接接觸，所以工件與電極都不會受到作用力，因此非常適合加工高剛性及耐磨耗性的材料。 微線切割放電加工是一種複雜而多變的物理現象，且具有隨機性，在不同的加工條件，都會影響放電狀態，在放電加工過程中，為了獲得較高的加工速度，經常必須在加工過程中改變加工參數，如設置不當，容易使得間隙狀況不穩定，加工速度、加工精度、加工表面均會受到影響。 二、精微技術簡介 精微製造技術分類 目前的精微製造技術種類繁多，但在眾多的加工法之中，大致可分為三大類，依加工技術可分為切削加工、非切削加工以及非傳統加工等： 微細加工分類μm，而當線電極小於100μm時，就可以稱為微細線，而使用微細線來進切割加工，使得線切割加工進入了精微製造的領域，而微細線切割加工所加工出之牙形雖有先天上之限制，但以加工成本上，確與超精密加工有差別，如此對於光學模具的製作，就有另外一種加工方法的選擇。 放電加工法 中雕模式放電加工以成型電極為加工電極，加工液以煤油為主，而線切割放電加工以f0.5mm以下，黃銅、鎢、鉬等材料的金屬線為加工電極，加工液以去離子水為主），當兩極間間隙足夠小的時候 (約5～50mm)，即造成絕緣破壞進而發生放電作用，而每秒數千乃至數十萬次的放電次數產生的許多放電凹坑，就是放電加工切削工件之方式，其整個過程說明如圖所示。 (a)放電發生： 在電極與工件兩端加上電壓，並使兩極間充滿絕緣的加工液， 而當電極與工件表面上兩較相近點間之電場強度最先超過加工液的絕緣耐壓強度時，此時加工液絕緣耐壓強度崩潰，電子由陰極射出向陽極前進，此