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移相法提高干涉仪测量精度研究的中期报告
本报告介绍了使用移相法提高干涉仪测量精度的研究进展情况,包括中期研究成果和下一步的计划。
研究背景:
干涉仪是一种精度很高的光学仪器,主要用于测量物体表面的形状和粗糙度等参数。在干涉仪的测量中,移相法是一种常见的技术,它通过调节待测物体或参考平面的相位,来实现对干涉图形的解析,从而获得高精度的测量结果。
研究方法:
本研究选用经典的Michelson干涉仪,针对不同样品的特性,通过局部改进和全局优化相位移动算法,以及信噪比的优化等方式,对移相法进行优化和改进。
研究结果:
1、局部改进:针对干涉条纹的不均匀分布问题,通过在干涉图形局部区域进行微小相位移动,实现了对局部干涉条纹的解析,获得了更高的测量精度。
2、全局优化:对相位移动算法进行全局的优化,实现在整个测量区域内对干涉图形的完整解析,提高了测量精度。
3、信噪比优化:通过对光路中各个元件的参数进行调节,提高了干涉信号的强度和稳定性,从而有效降低了干涉图像中的噪声干扰。
研究展望:
本研究将继续探索干涉仪测量中的其他问题,如系统误差、信号探测和处理、数据分析等,并预计在下一阶段实现更高的测量精度,为干涉仪的应用和发展做出更大的贡献。
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