移相法提高干涉仪测量精度研究的中期报告.docx

移相法提高干涉仪测量精度研究的中期报告 本报告介绍了使用移相法提高干涉仪测量精度的研究进展情况，包括中期研究成果和下一步的计划。 研究背景： 干涉仪是一种精度很高的光学仪器，主要用于测量物体表面的形状和粗糙度等参数。在干涉仪的测量中，移相法是一种常见的技术，它通过调节待测物体或参考平面的相位，来实现对干涉图形的解析，从而获得高精度的测量结果。 研究方法： 本研究选用经典的Michelson干涉仪，针对不同样品的特性，通过局部改进和全局优化相位移动算法，以及信噪比的优化等方式，对移相法进行优化和改进。 研究结果： 1、局部改进：针对干涉条纹的不均匀分布问题，通过在干涉图形局部区域进行微小相位移动，实现了对局部干涉条纹的解析，获得了更高的测量精度。 2、全局优化：对相位移动算法进行全局的优化，实现在整个测量区域内对干涉图形的完整解析，提高了测量精度。 3、信噪比优化：通过对光路中各个元件的参数进行调节，提高了干涉信号的强度和稳定性，从而有效降低了干涉图像中的噪声干扰。 研究展望： 本研究将继续探索干涉仪测量中的其他问题，如系统误差、信号探测和处理、数据分析等，并预计在下一阶段实现更高的测量精度，为干涉仪的应用和发展做出更大的贡献。