一种旋转平台的旋转测控装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112835270 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110067126.0
(22)申请日 2021.01.19
(71)申请人 上海集成电路装备材料产业创新中
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