GB/T 42709.5-2023半导体器件　微电子机械器件　第5部分：射频MEMS开关.pdf

ICS31.200 CCSL40 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT42709.5 2023IEC62047-52011 半导体器件 微电子机械器件 : 第 部分 射频 开关 5 MEMS — — Semiconductordevices Micro-electromechanicaldevices : Part5RFMEMSswitches ( : , ) IEC62047-52011IDT 2023-05-23发布 2023-09-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT42709.5 2023IEC62047-52011 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 3.1 开关操作术语 ……………………………………………………………………………………… 2 3.2 开关结构术语 ……………………………………………………………………………………… 2 3.3 驱动方式术语 ……………………………………………………………………………………… 2 3.4 开关网络结构术语 ………………………………………………………………………………… 2 3.5 可靠性术语 ………………………………………………………………………………………… 3 3.6 电特性术语 ………………………………………………………………………………………… 3 4 基本额定值和特性 ……………………………………………………………………………………… 5 4.1 标识和类型说明 …………………………………………………………………………………… 5 4.2 应用和规格说明 …………………………………………………………………………………… 5 4.3 极限值和工作条件 ………………………………………………………………………………… 5 4.4 直流和射频特性 …………………………………………………………………………………… 6 4.5 机械和环境特征 …………………………………………………………………………………… 6 4.6 附加信息 …………………………………………………………………………………………… 6 5 测试