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氧化物半导体基乙烯气体传感器的研究
一、引言
随着科技的发展与社会的进步，乙烯作为多种工业过程中的关键物质，其气体监测及安全检测尤为重要。在此背景下，研究和发展一种性能优异的气体传感器技术已成为研究领域的一大焦点。其中，基于氧化物半导体的乙烯气体传感器因其灵敏度高、响应迅速等优势受到了广泛的关注。本文就氧化物半导体基乙烯气体传感器的研究展开讨论，旨在探讨其工作原理、性能优化及实际应用等方面。
二、氧化物半导体基乙烯气体传感器的工作原理
氧化物半导体基乙烯气体传感器主要由氧化物半导体材料、加热器和电路组成。当传感器处于无气体状态时，通过加热器使半导体材料处于特定工作温度下，通过气体分子的吸附与脱
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