射频容性耦合等离子体非均匀特性的实验研究的中期报告.docx

射频容性耦合等离子体非均匀特性的实验研究的中期报告 这是一份射频容性耦合等离子体非均匀特性实验研究的中期报告，旨在阐述我们在研究中获得的进展和发现。以下是一些主要的结果和观察： 1. 实验装置和条件 我们使用的装置是一个射频容性耦合等离子体，可以通过改变电极的形状和尺寸来控制等离子体的形状和尺寸。我们使用的气体是氩气，气压范围在20~100 Pa之间，射频功率范围在30~120 W之间。我们使用的测量工具是光谱仪和I-V特性测试仪。 2. 非均匀特性 我们发现，在不同的电极形状和尺寸下，等离子体的形状和密度分布是不同的。具体地说，随着电极宽度的增加，等离子体的密度分布会更加均匀。此外，较大的电极间距会导致等离子体在中心附近形成高密度区域，并在边缘形成低密度区域。 3. 光谱分析 通过对氩气等离子体的光谱进行分析，我们发现不同的电极形状和尺寸会导致不同的光谱线强度和形状。这些变化可以解释为等离子体中不同的粒子密度和温度导致不同的激发态和能级跃迁。我们还发现，射频功率对等离子体光谱的影响很大，高功率下等离子体光谱线会变得更强，同时出现更多的谱线。 综上所述，我们的实验研究初步证实，在射频容性耦合等离子体中，电极形状和尺寸对等离子体的形状、密度分布和光谱线有显著影响。这些结果有助于更好地理解等离子体的非均匀特性，并为设计和应用等离子体装置提供了参考和指导。