镀膜机常见故障及分析解决预防措施2汇总.doc

镀膜机常见故障及分析解决预防措施 常见故障,问题及解决方法 下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施. 故障点 故障现象 故障原因 解决及预防措施 备注 1.高压和束流 1.1.开枪有高压，无束流 1.灯丝保险烧断 2.灯丝烧断 3.南光枪枪体右边引线碰到枪体底坐 1.检查灯丝保险，烧断则更换 2.保险正常则检查灯丝更换枪体. 3.调整引线与枪体底坐的间距.在抽气前检查枪体. 立即关高压 1.2.开高压显示跳动幅度大，并有束流跳动 1.束流控制调在手动，电位器未归零 2.枪体短路 3.高压电极保护罩或屏蔽碰到高压引线造成短路 4.电柜故障 1.电位器归零.在预熔完后应将灯丝电位器归零 2.将连接灯丝变压器的高压引线取下（注意引线不能碰到机器应悬空）开高压，正常则枪体或高压电极保护罩或屏蔽短路造成 3.放气检查电极保护罩或屏蔽 4.检修电柜 立即关高压 1.3.开枪无高压，无束流 1.高压保护不到位（偏转.真空.柜门） 2.高压电路出问题 1.检查相应的高压保护 2.检修高压控制电路 1.4.镀膜时高压会下跌 1.真空继电器烧坏 2.高压电路出问题 1.更换真空继电器 2.检修高压电路 常见4号机 1.5.镀膜时灯丝突然很亮(束流达到满格) 1.BT138可控硅被击穿 2.枪体短路 1.更换BT138 2.检查枪体 常见4号机 1.6有高压，有灯丝电流，无光斑 1.栅极片短路 2.扫描出问题或扫描线接反了 1.整理枪体 2.检修扫描，正确连接扫描线 1.7.束流上不去，达不到以前的水平（同样功率达不到以前的速率） 1.灯丝位置不正或变形 2.灯丝被氧化 3.连接枪体的各接头松动 4.坩埚转速太快 5.材料被污染 6.晶片被挡住 1.重新安装或更换灯丝. 为了更好的对灯丝定形及延长灯丝使用寿命,在更换新灯丝后应对灯丝进行预热处理 2.更换灯丝.为防止灯丝氧化在放气前应注意检查关闭灯丝电源开关 3.拧紧各连接处. 4.调整坩埚转速 5.取出被污染的材料或更换新材料 6.调整晶片挡板位置.抽气应检 1 7.电柜出问题 查晶片是否被挡 7.检修电柜 1.8.阻蒸电流调不上去 1.蒸发舟烧断或松掉造成接触不良 2.空气开关跳闸 3.调节电流的电位器坏了 4.铜电极与真空室底板下的引线接触不良 1.更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了防止接触不良，各电极和压块应清洗干净.更换在蒸发舟时应将铜压块取下砂干净再安装蒸发舟 2.打开空气开关 3.更换电位器 4.清洁磨平接触不良的地方并拧紧螺钉 1.9.速率不稳定 1.晶片失效 2.料面不好 3.功率设置不合理 4.控制参数PID设置不合理 5.灯丝接触不好或老化 6.高压打火 1.选择好的晶片，1.2枪的速率要匹配 2.料要加平整，养成停坩埚的好习惯 3.预熔功率及最大功率设置合理(最大功率为略大于蒸发时所需功率） 4.设置合理的PID参数 5.紧固或更换灯丝 6.解决打火现象 1.10.高压打火 1.枪体污染，杂物掉入枪体 2.各接线处未拧紧 3.聚四氟套管太脏 4.枪体阳极，栅极变形 5.高压电极太脏 6.屏蔽不佳或未屏蔽 7.光斑位置不合理，扫描状态不好 8.2枪高压干扰 9.材料污染有杂物 10.高压打在10KV 11.预熔不够充分 12.功率设置不合理 1.整理枪体，在吹枪体时应用吸尘器边吸使吹出的杂物吸走不被落在枪体里 2.拧紧各连接处，使其接触良好 3.清洗或更换套管，应定时清洗 4.调整或更换阳极，栅极片 5.更换高压电极 6.调整屏蔽或加装屏蔽 7.调整好光斑，检查扫描 8.蒸镀1枪时应关闭2枪高压 9.将被污染的材料去除或更换新材料 10.将高压调在正确的档位（中档8KV）.在触摸屏上操作时(如调整坩埚转速时)应注意是否误碰到高压调节档位 11.预熔时间及加的束流应合理（束流最后应加到接近镀第一套时所需束流坩锅转一到两圈） 12.设置合理的功率,预熔功率不应太大,最大功率应与速率相匹配,注意在第一套时速率较小时功率的设置 2 2.扫描和光斑 2.1.光斑不能调整 1.扫描引线或线圈短路 2.整流桥击穿 3.引线或线圈断路 4.遥控盒上的连线松脱或电位器坏了 1.检查引线及线圈,引线间不能碰在一起,抽气前应检查引线是否互相触碰