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一种铌酸锂陶瓷溅射靶材及其制备方法、应用.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115710124 A (43)申请公布日 2023.02.24 (21)申请号 202211413978.1 C23C 14/35 (2006.01)

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