SJ-958-1975 电子束管电子光学系统电极命名方法.pdf
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第一节 电子光学系统.pdf
北京大学 物理系 研究生课程：透射电子显微学－2006 年
第一章 电子光学系统-磁透镜结构与特性
一、光学显微镜的基本问题－分辨率与衍射极限
光学成像系统
光学显微镜由光学镜头组成，可以方便地将物体放大上千倍，以
分析物体细节信息，其焦距公式为：
1 1 1
+ （1－1）
f u v
但是，受光学衍射极限地限制，光学显微镜的放大倍数不是无限
的。
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第一章 电子光学系统.pdf
北京大学 物理系 研究生课程：透射电子显微学－2006 年
第一章 电子光学系统-磁透镜结构与特性
一、光学显微镜的基本问题－分辨率与衍射极限
光学成像系统
光学显微镜由光学镜头组成，可以方便地将物体放大上千倍，以
分析物体细节信息，其焦距公式为：
1 1 1
+ （1－1）
f u v
但是，受光学衍射极限地限制，光学显微镜的放大倍数不是无限
的。
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电子光学基础.ppt
*（1）v∥B，则F=0，电子不受磁场力作用，其运动速度的大小及方向不变；（2）若v⊥B，即只改变运动方向，不改变运动速度，从而使电子在垂直于磁力线方向的平面上做匀速圆周运动。（3）若v与B既不垂直也不平行，而成一定夹角，则其运动轨迹为螺旋线。第28页，共63页，星期日，2025年，2月5日*如何使运动的电子在磁场中会聚？轴对称的磁场第29页，共63页，星期日，2025年，2月5日*电磁透镜聚焦原理示意图1ab第30页，共63页，星期日，2025年，2月5日*电磁透镜聚焦原理示意图2c第31页，共63页，星期日，2025年，2月5日*玻璃凸透镜聚焦电磁透镜聚焦原理示意图3d第32页，共63页，
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第7章 电子光学基础.ppt
一 光学显微镜的局限性 一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 * 对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 2?r0 M 屏 透镜 α L1 L2 Df ? 焦长是指在保持象清晰的前提下，象平面沿镜轴可移动的距离， 或者说观察屏或照相底版沿镜轴所允许的移动距离。 2? r0M L ? ? 2? r0M ?＝ DL＝ 2? r0M2 若α＝10-2， ?
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第2章.电子光学基础(新).ppt
课堂要点： §2－1 电子射线的特性 德布罗意波－物质波 二. 电子波的波长 电子的运动速度 电子波长的一般计算公式 电压≤30kV的波长公式 注意：当U＞30kV时 电压＞30KV时 波长的计算公式 加速电压＞30kV时电子波的波长 §2－2 电子枪 电子枪是产生电子束的装置，有两种类型 1. 热电子发射型 发夹式钨灯丝 高亮度LaB6单晶灯丝 2. 场发射型 冷阴极场发射型
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课堂要点： §2－1 电子射线的特性 德布罗意波－物质波 二. 电子波的波长 电子的运动速度 电子波长的一般计算公式 电压≤30kV的波长公式 注意：当U＞30kV时 电压＞30KV时 波长的计算公式 加速电压＞30kV时电子波的波长 §2－2 电子枪 电子枪是产生电子束的装置，有两种类型 1. 热电子发射型 发夹式钨灯丝 高亮度LaB6单晶灯丝 2. 场发射型 冷阴极场发射型
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Comparison of electron sources Tungsten source the worst in most respects, but for routine TEM applications they are excellent, reliable sources and are cheap and easily replaceable. LaB6 high brightness, improved coherency and the energy spread, increased operating life is a recommended thermionic
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电子光学基础.pptx
第七章
电子光学基础
7.1前言上一学期学习了X射线衍射学的基本原理,我们知道,通过X射线衍射分析可以对物质进行：—定性相分析——定向但是作为材料研究来说在今天已远远不够,还必须了解其宏观性能或行为与其微观组织、结构之间的联系，所以了解材料的微观组织、结构在近代材料科学研究中已是不可缺少的一项。
7.2光学显微镜的成像原理极其局限性7.2.1成像原理光学显微镜是利用可见光从一种介质(空气)到另一种介质(玻璃)的折射率不同对光线成折射，当将玻璃制成球面体时对可见光就产生了会聚或发散作用，对物体的放大与缩小可由单个透镜或多个透镜的组合来完成.根据几何光学理论,一个薄透镜具有下列性质：从物点射出的平
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中国地质大学(武汉)材化
学院
TheFacultyofMaterial
ScienceChemistry,China
UniversityofGeosciences
主要内容
第二章电子束与物质作用产生的信号
第三章扫描电子显微镜的结构及工作原理
第四章扫描电子显微镜的操作与应用
第一章电子光学基础
2
电子显微镜是以电子束为照明源，通过
电子流对样品的透射或反射及电磁透镜
的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪
器。
第一章电子光学基础
•1.1电子显微镜概述
电子显微镜由电子流代替可见光，由磁场代替
透镜，让电子的运动代替光子。
04
comparison
03
02
光学显微镜则是利用可见
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多束电子光学系统的研究现状与发展.pdf
第４２卷第３期电子显微学报Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．３
２０２３年６月ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｈｉｎｅｓｅＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙＳｏｃｉｅｔｙ２０２３-０６
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文章编号：１０００６２８１（２０２３）０３０３７６１０
多束电子光学系统的研究现状与发展
１１３１，２１，２∗１，２∗
张利新，赵伟霞，陈代谢，张雨露，刘俊标，韩立
（１．中国科学院电工研究所，微纳加工技术与智能电气设备研究部，北京１００１９０；２．中国科学院大学，
电子电气与通信工程学院，北京１０００４９；３．中国科学院条件保障与财务局，北京１００８６４）
摘要本文对多束电子光学系统的国内外研究现状进行了详细调研，总结了各个
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EIO强流电子光学系统研究与设计的开题报告.docx
EIO强流电子光学系统研究与设计的开题报告
一、选题背景和意义
EIO强流电子光学系统是一种将电子束聚焦到极小尺寸并形成高强度光束的光学系统，具有广泛的应用领域，如X射线成像，光刻制程，材料表征等。随着科学技术的不断发展和需求的不断增加，对EIO强流电子光学系统的研究和设计也越来越重要。
本课题拟以EIO强流电子光学系统的研究和设计为出发点，旨在探索光学系统光束聚焦和光学器件的优化及性能改进等方面的重要问题，为光电技术及相关领域的进一步发展提供有效的技术支撑和理论指导。同时，该研究还将为维护国家技术安全，提升国家产业竞争力做出贡献。
二、研究目标
1.研究EIO强流电子光学系统的物理过程，深入