第二届欧洲精密工程和纳米技术国际会议.pdf

年 月 航空精密制造技术 ! # 3 45 6778 第 卷 第 期 4 % #$ %$’ ()*+$,$’ -’ ./ +%.)$’0 %*+1’203 #9:; = ’9; 第二届欧洲精密工程和纳米技术国际会议 清华大学精密仪器及机械学系 王先逵 江思敏 第二届欧洲精密工程和纳米技术国际会议于 金上的聚合体微观结构的表面初始自由基本聚合。 年 月在意大利都灵市召开，这次会议受到了 专题 ：计量和纳米技术 ! # $ # 国际生产工程学会和欧洲共同体的支持，共有 个 使用新的干涉计光学和光纤结合测量头的用于 !% 国家和地区三百多名代表出席了会议，共发表论文 小于 纳米的超精密测量的零差激光干涉计 使用 # ’ !!$ 篇。在这次会议上，我国清华大学王先逵教授、 纳米级分辨率测量千分尺的步骤’ 用于三维坐标测 国防科技大学李圣怡教授和戴一帆老师等出席，共 量的定相测量体积的测量干涉法’ 超精密坐标测量 发表 篇文章，分别是： 机（ ）的基本概念 在不利环境下大坐标测量机 )** ’ 用原子力显微镜进行单点微切削研究’ 超精密 的振动隔离状态’ 超大规模集成电路基底的干涉测 加工的精度影响因素分析和误差来源识别 超精密 量法 转换标准的校准用的测量原子力显微镜 用于 ’ ’ ’ 切削机床横滑板的复合振动控制 金刚石刀具微振 薄膜的纳米范围的校准参考标准 共焦扫描视频内 ’ ’ 动对被加工表面粗糙度的分子动态仿真研究’ 中心 诊镜’ 用于空间表面测量的太阳质子监视器。 定向工件在精密和超精密加工时的几何定位算法’ 专题$ ：超精密运动控制 用于超精密机床的高精密轨迹控制器的设计 中凸 关于精密定位用的单件 工作台的位移特 ’ +,- 变椭圆活塞金刚石刀具精密切削研究。 性 超硬的纳米级定位系统的结构和控制 纳米