Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的PLD制备及热释电性能的研究的中期报告.docx

Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的PLD制备及热释电性能的研究的中期报告 本次实验使用基于PLD技术的方法制备了Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜，并研究了其热释电性能。具体步骤如下： 1. 基于PLD技术制备Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜。使用目标为Pb(Zr0.95Ti0.05)O3的陶瓷靶材，激光功率为150 mJ，重复频率为10 Hz，激光波长为355 nm，氧气压力为150 mtorr，沉积温度为650℃，沉积时间为2小时，经过多次重复沉积后制备得到厚度约为250 nm的Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜。 2. 对Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜进行XRD分析。结果显示Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜呈现出主要的铁电相转变峰(2θ≈32.5°)，证明其具有良好的晶体结构。 3. 对Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜进行热释电性能测试。采用加热-冷却法测试Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的热释电系数。实验结果显示，在温度范围为30℃到70℃，Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的热释电系数达到了约140 Vm/K，在室温下的输出电压为0.014 mV，这表明Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜具有良好的热电转换性能。 4. 对Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的热释电性能进行讨论。由于Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的铁电相转变峰与样品内部自由载流子浓度的变化有关，因此可以通过控制Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的杂质浓度和氧气气压，来实现对其热电性能的优化。 综上，本次实验成功制备了Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜，并研究了其热释电性能。然而，还需要进一步优化其制备工艺以及控制其杂质浓度和氧气气压，以进一步提高其热电性能。