一种有效实现金刚石中硅掺杂的设备与方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116463609 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310328517.2 C23C 16/455 (2006.01)
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