1200℃二通道混气高真空 CVD 系统说明书.pdf
1200℃二通道混气高真空CVD系统说明书
OTF-1200X-HVC
天津品创科技发展有限公司
产品简介
OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-单温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其最高工作温
度可达1200℃,极限真空度可达to10^-5torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管
式炉内部。
主要特点
1、采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于60℃
2、内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
技术参数
产品型号OTF-1200X--HVC
电源AC208-240V单相,50/60Hz
最大功率2.5KW
炉管材质高纯石英管
Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo,(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,
加热元件
最大程度的延长加热元件的使用寿命)
最高工作温度1200℃(小于1小时)
工作温度
连续工作温度:1100°C
升温速率1~20°C/min可编程
总加热区长度:440mm
管式炉加热区长度
恒温区长度.:150mm(±1°C)
PID30段可编程程序化控制
温度控制控温精确度±1°C
热电偶:K型热电偶(已安装在炉体内)
一对不锈钢法兰已经安装
法兰上带有一机械压力表
真空法兰
两个精密针阀
KF40的抽气接口
功率100~110W
壳体尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm
最大承载量:600Lbsontop
壳体
分子泵显示屏:LCD数字显示
内装有一PfeiffervacuumpumpmadeinGermany
高真空机组N233L/s
抽气速率