冷场发射扫描电镜安全操作规程.doc

冷场发射扫描电镜安全操作规程 基本信息 参与对象：本科生 规程制定者：徐泽忠 制定时间：2017年5月14日 执行时间：2017年5月14日 用房安全员：赵茂俞 事故紧急联系电话适用地点： 43#101室 仪器操作规程 1开机 1.1检查真空、循环水状态。 1.2开启“Display”电源。 1.3电脑启动后，根据提示，按“Ctrl+Alt+Delete”，口令为空，进入系统；启动电镜程序，口令为空。 2样品放置、撤出、交换 2.1严格按照高度规定高样品台，制样，固定。 2.2按交换舱上“Air”键放气，蜂鸣器响后将样品台放入，旋转样品杆至“Lock”位，合上交换舱，按“Evac”键抽气，蜂鸣器响后按“Open”键打开样品舱门，推入样品台，旋转样品杆至“Unlock”位后抽出，按“Close”键。 3观察与拍照 3.1根据样品特性与观察要求，在操作面板上选择合适的加速电压与束流，按“On”键加高压。 3.2用滚轮将样品台定位至观察点，在操作界面中调整样品台高度。 3.3选择合适的放大倍数，点击“Align”键，调节旋钮盘，逐步调整电子束位置、物镜光阑中、消像散基准。 3.4在“TV”或“Fast”扫描模式下定位观察区域，在“Red”扫描模式下聚焦、消像散，在“Slow”或“Cssc”扫描模式下拍照。 3.5选择合适的图像大小与拍摄方法，按“Capture”拍照。 3.6根据要求选择照片注释内容，保存照片。 4关机 4.1将样品台高度调回8mm。 4.2按“Home”键使样品台回到初始状态。 4.3“Home”指示灯停止闪烁后，撤出样品台，合上样品舱。 4.4退出程序，关闭电脑，关闭“Display”电源。 注意事项及 预防措施 实验开始前，检查电源火线、零线、地线连接是否正确，电线是否有破损，确认无误后才能给装置通电。 (2)先打开循环水冷却系统，再开启仪器主机。 注意事项 预防措施 循环冷却水机的注意事项： 1、先开循环冷却水机再开仪器主机； 2、关机时先关闭仪器主机，待循环水机运行至少15分钟后再关闭冷却水机。 防护措施 严格注意开关机顺序； 1-3个月需检查和清晰X射线管的水过滤器； 1年要检查清洗水管和水箱，防止由于水垢而降低冷却效果。 一旦发生故障故障，立即停止实验。 电源火线、零线、地线连接不正确及破损的危险特性 如果电源火线、零线、地线连接是否正确或者电线有破损，将有可能引起漏电而电到或者烧坏仪器的危险 防护措施 实验开始前，检查电源火线、零线、地线连接是否正确，电线是否有破损，确认无误后才能给装置通电。 分析测试中心 2017年5月14日