RENA开关机及异常处理辩析.ppt

RENA正常开关机及异常处理 内 容 提 纲 开机前的准备工作 开机步骤 关机步骤 开机异常处理  开机前准备工作 1、 准备好防护用品：耐酸碱手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩、PVC/昵绒手套等。 2 、联系系统保障部确认为外围设施水、电、气正常供给，确 认外围排风正常。 3、 打开设备外连的水、电、气阀门。 4 、确认各化学药品供给正常（HF、HNO3、 HCL、 H2SO4 、NaOH）。 5、 检查各槽体，确保槽体清洁无碎片残留，关闭所有门、窗、盖板防止药液飞溅。 开机步骤 1、 开启电控柜主电源开关，将电控柜面板上的主电源开关手柄顺时针旋转置于“ON” 2、 依次打开电控柜内的所有断路器、电机保护开关。如图  开机步骤 3、将冷水机面板上的电源开关手柄顺时针旋转置于“ON”处。 4、检查冷水机水位指示，如上右图所示。 5、检查并复位机台上的所有急停开关。 6、按下电脑主机上的电源按钮，电脑将自动加载启动Wincc操作系统 7、按下显示器上的“ON”按扭，等系统进入操作程序后打开，使电器回路得电。  开机步骤  开机步骤 8、软件自动启动并显示如图十一界面，点击login输入用户名及密码。  开机步骤 9、点击 “Manual”按钮，在此模式下打开如下界面（如图），手动启动滚轮，检查滚轮运行状态，避免槽盖、风刀、水刀或其他管路压倒滚轮。 10、 开机步骤完成，交由工艺。 关机步骤 关机前停止上料，确认机器内部的 硅片已全部流出。 1、 登陆操作界面 点击主界面 “STOP”键停止设备运行。 2、 点击界面上 “Manual”按钮 进入手动模式手动操作界面。 3、 在手动模式下将逐个 排空各槽并清洗 关机步骤 4、 以清洗rinse1为例：点击 rinse1，选择mode man,然后按按钮 draining把bath排空,之后再点击filling DI加水, 达到工艺液位后点击start circulation循环两分钟再点击draining排空.其他槽同rinse1。 如下图所示 关机步骤 5、 槽体清洗好后，清理各槽内碎片特别是上下料处，装好滚轮，盖好盖板门窗。 6、 将设备打到停止模式，点击“MODE OFF”，进入停止模式，点击“Exit”退出软件程序。 关机步骤 7、退出程序后关闭电脑 8、点击显示器下方“off”按钮，依次断开24V电源开关，关闭PC电源，关闭冷水机电源开关，设备主电控开关。 9、依次关闭所有外围动力阀门。 10、 关机流程结束 开关机常见异常处理 1、显示器不亮，首先排查显示器有无问题，其次排查主机与显示器之间的通讯线路（包括AdderLink是否锁住），再次排查主机内硬盘、内存卡及连接线有无异常， 如依次排查完仍无法解决请及时联系工程师。 2、电脑开机后操作软件无法打开，必须 调用备份进行软件还原。详见附件 3、设备手动运行后，发生泵的干转报警，检查液位是否正常，不够就通知工艺补液。 4、溶液补液超时，检查补液气动阀有无工作，若无动作就检查PLC模块有无输出； 若阀有动作，检查是药液加得慢，可调整阀体开度，如若不行更换气动阀（更换时需注意做好防护措施）。