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《非共光路外差激光干涉周期非线性误差抑制与测试方法》.docx

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《非共光路外差激光干涉周期非线性误差抑制与测试方法》

一、引言

在光学测量和激光干涉技术中,非共光路外差激光干涉技术因其高精度、高灵敏度等优点,被广泛应用于精密测量领域。然而,在实际应用中,由于多种因素的影响,如环境温度变化、设备老化等,激光干涉仪常常会表现出周期性非线性误差。这种误差对测量结果的准确性产生了严重的影响。因此,本文将探讨如何有效地抑制并测试非共光路外差激光干涉的周期性非线性误差。

二、周期性非线性误差的来源

在非共光路外差激光干涉系统中,周期性非线性误差主要来源于以下几个因素:

1.光学元件的热效应:由于环境温度的变化,光学元件的折射率会发生变化,导致干涉仪产生周期性非线性误

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