第1章超精密研磨与抛光.ppt

第5章 超精密研磨与抛光;5.1 研磨和抛光的概述;;5.2 研磨和抛光的机理和特点5.2.1 研磨加工的机理和特点;研磨的机理;5.2.2 抛光加工的机理和特点;抛光的加工机理;5.2.3 研磨的加工变质层 ;5.2.4抛光的加工变质层;5.3 研磨和抛光的主要工艺因素;5.4 超精密平面研磨和抛光;行星轮式双面平面研磨机;行星轮式双面平面研磨机;超精密平面研磨机;;单面研磨机;平面研磨的研具;;抛光机;抛光垫形状外貌;抛光垫材料和类型;抛光垫的修整;修整器;三种磨粒分布方式;抛光液类型;高质量平面的研磨抛光工艺规律;;圆柱面的研磨;球面的研磨;;5.5 新原理的超精密研磨抛光;5.5.1 液中研磨;5.5.2 化学机械抛光;;5.5.3 非接触研磨技术;弹性发射加工－EEM（Elastic Emission Machining）;;EEM方法的剪切作用;弹性发射加工装置;非接触研磨加工装置;动压效应;浮动抛光 ;水面滑行抛光 ;5.5.4 无磨料抛光;5.5.5电场和磁场抛光加工 ;磁力抛光的加工原理;加工机理;磁力研磨加工的应用;非磁性管内壁的磁力抛光（磁场由永久铁产生）;非磁性弯管内壁的磁力抛光;球面和复杂曲面的磁力研磨;异型件的抛光、去毛刺;磁力滚抛加工;磁力悬浮研磨;磁流体研磨加工(Magnetic Fluid Grinding) ;陶瓷球的磁流体研磨;磁流体抛光;;;;;;;;