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硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113343520 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202110578205.8 (56)对比文件 (22)申请日 2021.05.26
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