硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113343520 B
(45)授权公告日 2022.05.13
(21)申请号 202110578205.8 (56)对比文件
(22)申请日 2021.05.26
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