Si表面上生长的ZnO薄膜的阴极射线荧光.PDF
文本预览下载声明
24 2 Vol24 No . 2
2003 4 CHINESE JOURNAL OF LU MINESCENCE Apr. , 2003
: 1000-7032(2003) 02-0171-06
Si 表面上生长的ZnO 薄膜的阴极射线荧光
1, 2 2 2, 3 2 1, 2 1, 2
许小亮 , 徐军, 徐传明 , 杨晓杰 , 郭常新 , 施朝淑
( 1. , 230026; 2. , 230026;
3. , 230027)
: Z O/ Si ( CL) ,
800 , , , 390 m
505 m ,
800 , 525 m950 , , ,
CL , X , ,
Z O/ Si , : 800
( 600) , Z O , 800 ,
Z O , ,
Z O/ Si
: Z O; Si ; ; ;
+ + +
: TN3042 1; T N3041 2; O734 3 : A
Z O ; ( 4)
1 引言
Z O , Al O GaN
2 3
[ 1] [ 11]
337eV , 60meV, , : ( 1)
26meV , Al O , ,
2 3
Z Se( 22meV) ,
; ( 2) GaN ,
Z S(40meV) GaN( 25meV) , Z O
GaN, , ,
Z O ,
,
[2]
[ 3] Si , ,
Z O ,
a= 0543 m, Z O
, ,
SiO ,
Z O 2
1996 , Z O [ 12~ 15] SiO2
[4] Z O XRD , Z O
,
, ( 002) 03, ,
[5~ 10] , Z O
, Z O Si Z ,
, (002) 02,
显示全部