GB/Z 42624-2023真空技术　真空计　放气率的测试和报告程序.pdf

ICS23.160 CCSJ78 中华人民共和国国家标准化指导性技术文件 / — / / : GBZ42624 2023ISOTS201772018 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序 — — Vacuumtechnolo Vacuum aues gy g g Procedurestomeasureandreortoutassin rates p g g ( / : , ) ISOTS201772018IDT 2023-05-23发布 2023-05-23实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / / : GBZ42624 2023ISOTS201772018 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 2 4 符号和缩略语 …………………………………………………………………………………………… 3 5 测试系统 ………………………………………………………………………………………………… 3 5.1 一般要求 …………………………………………………………………………………………… 3 5.2 应用流量法的测试系统 …………………………………………………………………………… 5 5.3 累积系统 …………………………………………………………………………………………… 10 6 测试方法………………………………………………………………………………………………… 11 6.1 概述 ………………………………………………………………………………………………… 11 6.2 推荐的样品制备方式 ……………………………………………………………………………… 12 6.3 测试的流程和时间………………………………………………………………………………… 12 6.4 测试程序 …………………………………………………………………………………………… 13 7 测量不确定度…………………………………………………………………………………………… 17 7.1 概述 ………………………………………………………………………………………………… 17 用作流量比较装置的连续膨胀系统( )……………………………………………………… 7.2 5.2.2 18 带有可计算流导元件的流量系统( )………………………………………………………… 7.3