一种柔性电子器件的制备方法及其制备装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112820830 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011615919.3
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 中国科学院苏州生物医学工程技术
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