gan ito工艺流程简介.ppt

厦门三安光电科技有限公司 厦门三安光电科技有限公司 GaN芯片工艺流程 厦门三安光电科技有限公司 GaN ITO芯片前道流程 晶片投入激光刻号 ITO蒸镀前清洗 ITO蒸镀 P-Mesa光罩作业 ITO蚀刻 P-Mesa干蚀刻 干蚀刻后光阻去除 ITO熔合 CVD Pad 光罩作业 Metal蒸镀前 蚀刻 Metal 蒸镀 金属剥离 温筛 ITO光罩作业 ITO蚀刻 厦门三安光电科技有限公司 外延片 ITO 光刻胶 ICP Etching ITO蚀刻 光刻胶 ITO蚀刻 ITO熔合 SiO2 光刻胶 Metal蒸镀 P电极 N电极 GaN芯片前道流程演示图 厦门三安光电科技有限公司 GaN ITO芯片后道流程 前道 测试抽测 判定（A/B/C) 研磨（衬底减薄） 划裂 测试mapping 分选 目检正检 打标签 分类 入库 厦门三安光电科技有限公司 GaN芯片后道流程演示图 厦门三安光电科技有限公司 GaN产品分类 GaN 蓝光 Blue 绿光 Green 一、按颜色分 二、按尺寸分 10B 10F 12C 13A 13K 14A 16B 20A 24A 40A…… 厦门三安光电科技有限公司 8mil 10mil GaN芯片图形 厦门三安光电科技有限公司 GaN LED 分选片命名规则 厦门三安光电科技有限公司 厦门三安光电科技有限公司