蓝宝石晶体生长隔热用氧化锆纤维屏.docx
Q/LB.□XXXXX-XXXX
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ICS
FORMTEXT29.045
CCS
FORMTEXTH80
团体标准
T/FORMTEXTCNIAFORMTEXTXXXX—FORMTEXTXXXX
FORMTEXT?????
FORMTEXT蓝宝石晶体生长隔热用氧化锆纤维屏
FORMTEXTZirconiafiberscreenforcrystalgrowth
送审稿FORMDROPDOWN
FORMTEXT?????
FORMDROPDOWN
FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布
FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施
发布中国有色金属工业协会
发布
中国有色金属学会???
STYLEREF标准文件_文件编号T/CNIAXXXX—XXXX
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前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。
本文件起草单位：南京理工宇龙新材料科技股份有限公司、南京理工大学、通辽精工蓝宝石有限公司、天通银厦新材料有限公司、湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、贵州昕安科技有限公司。
本文件主要起草人：
晶体生长用氧化锆纤维屏
范围
本文件规定了具有半导体性质的晶体生长隔热用氧化锆纤维屏（以下简称“产品”）的分类与标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本文件适用于晶相为全稳定立方相的氧化锆纤维屏的生产制备、测试检验及质量评价。
规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T191包装储运图示标志
GB/T3003—2017耐火纤维及制品
GB/T4132绝热材料及相关术语
GB/T4984含锆耐火材料化学分析方法
GB/T5486无机硬质绝热制品试验方法
GB/T10325定形耐火制品验收抽样检验规则
GB/T14264半导体材料术语
GB/T17911耐火材料陶瓷纤维制品试验方法
GB/T26563电熔氧化锆
术语和定义
GB/T14264和GB/T4132界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
氧化锆纤维屏zirconiafiberscreen
一种由氧化锆纤维粘合而成的块状超高温隔热保温部件。
氧化锆纤维以Y2O3为稳定剂，其晶相为全稳定立方相。
分类和标记
分类
氧化锆纤维屏按体积密度的不同分为：
1000kg/m3（用Ⅰ表示）；
1500kg/m3（用Ⅱ表示）；
2000kg/m3（用Ⅲ表示）。
氧化锆纤维屏按使用温度分为：
1800℃（用A表示）；
2000℃（用B表示）；
2200℃（用C表示）。
标记
产品型号的标记方式表示如下：
其中，“×”表示大写英文字母，“□”表示罗马数字。
使用温度为2000℃、体积密度为1000kg/m3的产品表示为：YZS-B-Ⅰ。
技术要求
物理性能
产品的物理性能见表1。
氧化锆纤维屏的物理性能
型号
YZS-×-Ⅰ
YZS-×-Ⅱ
YZS-×-Ⅲ
使用温度
℃
1800
2000
2200
1800
2000
2200
1800
2000
2200
密度
kg/m3
1000±200
1500±200
2000±200
抗压强度
MPa
≥4
≥7
≥12
加热永久线性变化
（在1600℃下保温24h）
%
≤5%
≤2%
≤1%
热导率（1000℃）
W/m·K
≤0.1
≤0.13
≤0.16
晶相
立方相
立方相
立方相
化学成分
产品的化学成分见表2。
氧化锆纤维屏的化学成分
序号
化学成分
Wt%
要求
1
ZrO2+Y2O3
≥99.7
2
Y2O3
15-19
3
SiO2
≤0.16
3
K2O
≤0.02
4
Na2O
≤0.04
5
Fe2O3
≤0.01
外观
表面质量
产品的表面质量要求如下：
表面性状：硬质、表面平整、无破损；
外形样貌：白色纤维状、白色块状。
尺寸偏差
产品的尺寸偏差由供需双方协商确定。
试验方法
物理性能
密度
按GB/T5486中规定的方法进行。
抗压强度
按GB/T5486中规定的方法进行。
加热永久