AOI-检测原理(月报).ppt

AOI 檢測原理 Automatic Optical Inspection Current Status of AOI 目前廠內有70台AOI Application 內外層線路缺點檢查 底片線路缺點檢查 Defect type Open / Short Nick / Protrusion Pad / Hole Line / Space Pin hole / Island Purpose Monitor Rework Hardware (影像擷取) Hardware (Optical Structure) Software (AOI 檢測流程) Software (Threshold from Histogram) Software (邏輯檢查流程) Software (線寬量測) Accuracy Repeatability Software (Frame detector) Software (Junction detector) Software (Ray detector) Concept of AOI Conclusion AOI無法保證百分百的無loss , 或無 false alarm. AOI是一種具思考和學習的設備 How to survey AOI 光學架構 對位系統 影像處理 邏輯辨識 實測結果 Future expect * * AOI檢測原理 AGENDA: 1. Automatic Optical Inspection 2. Current Status of AOI 3. The Hardware of AOI 4. The Software of AOI 5. Conclusion 6. Future Expectation 影像擷取 邏輯處理 缺 點 Inspire V300 PC-XX 類比信號 數位信號 二進位信號 CCD 類比 EIC 類比 數位 數位 影像前置處理 二進位 數位 二進位 CCD 濾光片 鏡片 分光鏡 散射光鏡片 直射光鏡片 散射光鏡片 散射光光纖導管 散射光光纖導管 散射光鏡片53 108 散射光鏡片53 108 直射光光纖導管 CCD 影像處理卡 邏輯判斷 處理模組 遮蓋處理器 (MASK) 參考資料 處理器 主處理器 (MASTER) 影像擷取階段 檢測階段 條件過濾階段 缺點報告階段 255 0 53 227 Optimal Threshold Range High Peak 25 Low Peak Number of Pixels 對線寬及線距 量測具較高敏感度 減少線寬及線距 量測時假缺點數 對斷路及針孔 量測具較高敏感度 對短路及銅渣 量測具較高敏感度 線寬量測 Ray Measurement 銅渣 針孔 (I/P) Annular Ring 開路(Open) 接點(Junction) 針墊 / 孔徑 設計規範 (DRC) 標準板 (REF) 二進位 影像 Vertical Line Horizontal Line Diagonal Width Change Substrate Copper Light LineWidth 2.5 mil 5 mil 7.5 mil 10 mil High 25% Normal 50% Low 75% V. Low 100% Protrusion 0 1 2.5 mil 5 mil 7.5 mil 10 mil High 25% Normal 50% Low 75% V. Low 100% Nick 0 1 15 mil 12 mil pad 0 0 0 0 0 0 0 1 0 1 1 1 1 1 1 1 Island Pin hole 12,18,..,42,48pixels 0 0 0 1 0 0 0 1 Open End Min , Max T Junction K Junction Y Junction SHORT MEDIUM LONG 每個接點定義可以旋轉45度(Rotation)和鏡射(Mirror). T Junction 1 1 1 0 0 1 2 3 4 5 6 7 Current Pixel 每支射線最長 144 pixels Current Pixel 1 2 3 ………………………………………. 144 像素的數目是沿著每支射線計算 (包含不同顏色). 8 4 8支射線沿著垂直水平和對角線由中心往外計算. *