阳极氧化法制备TiO2 纳米管阵列.pdf

年第 期( )卷 2996 2013 20 44 文章编号: ( ) 1001-9731201320-2996-03 阳极氧化法制备TiO2纳米管阵列∗ , 1 2 2 2 2 12 , , , , , 徐 柏 梁桃华 孟奕峰 杨清学 唐明君 杨仕清 　 ( , ; 1.电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 四川 成都 610054 , ) 2.成都职业技术学院 信息科学技术研究院 四川 成都 610041 : , 摘 要 采用阳极氧化法在乙二醇体系电解液中制 具体而言 阳极氧化法制备 纳米管阵列的 　 　 TiO2 , : , 备 TiO2 纳米管阵列 获得了长度为15~20m的底端 电解液体系大致可分为两类 第一类为无机电解液 即 μ 。 , 纳米管与顶端纳米线的新型复合结构 讨论了电解液 含 HF的强酸电解液或含氟化物的弱酸电解液 采用 , , 中不同含水量对该复合结构形成的影响 并采用两步 该类电解液制备的钛纳米管阵列普遍较短 一般低于 [,] 78 。 ; , 阳极氧化法对该结构的形成机理进行了分析 结果表 10m 第二类为含氟离子的有机电解液 该类电解 μ [] , ( ) , 9 。 明 当乙二醇体系电解液含有 0.4% 质量分数 NHF 液制备的钛纳米管相对较长 甚至可达到 1000m 4 μ ( ) , ,