电气自动化监控系统的设计研究.docx
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题目：电气自动化监控系统的设计研究
目录
TOC\o1-3\h\z\u第一章：绪论 3
1.1真空设备的发展及应用 3
1.2本文的主要内容 3
第二章：真空实验设备技术要求 3
2.1真空容器 3
2.2获得系统 4
2.3测量与控制系统 6
第三章：真空实验设备监控系统设计 8
3.1真空获得系统监控原理及组成 8
3.2测量监控系统原理及组成 9
3.3软件设计 9
3.4硬件设计 10
3.5配置表 11
3.6系统组装调试 15
第四章：真空实验设备监控系
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