洁净室微震防护..ppt

CTC CTC CTC Century Technology (Shenzhen) Corporation Limited CTC Century Technology (Shenzhen) Corporation Limited 振動？or 震動？ 潔淨室微振說明 2016-07-16 課程大綱 一、何為振動 二、振動與潔淨室之關係 三、防振基座介紹 一、何為振動 — 振/震動的種類 依時域特性區分 一、何為振動 — 振/震動的種類 依振幅區分 (位移量) 二、振動與潔淨室之關係 廠區的振動來源 廠內振動來源 廠外振動來源 廠外振動來源 二、振動與潔淨室之關係 如何克服這些振動？ 二、振動與潔淨室之關係 請試想下以下情景： 一個人如何安穩地站立在海灘上？ 一棟房子如何建造在海灘上？ 一座天文望遠鏡如何建造在海灘上？ 型式 說 明 備 註 (A)、鋼板及補強腳 機台無振動或剛性需求，但重量稍重，以鋼板或輕重型補強腳座分散機台重量。(補強高架地板強度的不足) 如:一般輕型機台 (B)、荷重隔離基座 機台本身會產生振動或本身重量很重，高架地板無法承受，必須拆除高架地板設置鋼結構基座。(原高架地板需拆除) 如:曝光機 機械手臂(Robot) (C)、水泥隔離基座 機台本身對於微振動(位移)特別敏感，必須拆除高架地板,以水泥基座來達到最佳的隔振效果。 (原高架地板需拆除) 如:檢查機 防振基座之分類 三、防振基座介紹 克服人員站立海灘 克服房屋建置海灘 克服望遠鏡建置海灘 重型腳座 輕型腳座 鋼板分散板 防振基座之分類 A - 鋼板分散板及補強腳座 適用於機台無振動或剛性需求,但重量稍重時使用 三、防振基座介紹 克服人員站立海灘 防振基座之分類 機台有振動需求或本身重量很重，需要作隔離平台與高架地板作區隔。 B - 荷重隔離基座 三、防振基座介紹 克服房屋建置海灘 防振基座之分類 C - 水泥隔離基座 C TYPE 側視圖 C TYPE 立體圖 對於微振動位移極為敏感的機台，以水泥基座來達到最佳的隔振效果(抗低頻效果佳)。 三、防振基座介紹 克服望遠鏡建置海灘 C - 水泥隔離基座 此基座型式適合對於微振動極為敏感的機台，防止其他外部振動源傳遞進來。 如：檢測機台，高精度製成機台 三、防振基座介紹 防振基座之分類 克服望遠鏡建置海灘 Thank You! 〖vibration〗物体的全部或一部分沿直线或曲线往返颤动,有一定的时间规律和周期or无规则振动 振動：小規模 震動：大規模 * 週期：波型固定，並有週期性的循環 隨機：波型；振幅無固定性，時間也無周期性 暫態：振動與設備運行强相關，隨設備啟動才產生振動 * 以振幅(位移量)大小來說明各級振動 * CTC CTC CTC Century Technology (Shenzhen) Corporation Limited CTC Century Technology (Shenzhen) Corporation Limited 〖vibration〗物体的全部或一部分沿直线或曲线往返颤动,有一定的时间规律和周期or无规则振动 振動：小規模 震動：大規模 * 週期：波型固定，並有週期性的循環 隨機：波型；振幅無固定性，時間也無周期性 暫態：振動與設備運行强相關，隨設備啟動才產生振動 * 以振幅(位移量)大小來說明各級振動 *