GB/T 35158-2017俄歇电子能谱仪检定方法.pdf
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中华人民共和国国家标准
GB/T 35158—2017
俄歇电子能谱仪检定方法
Verification method for Auger electron spectrometers
2017-12-29 发布 2018-11-01 实施
发布
GB/T 35158—2017
目 次
前言in
引言w
1范围1
2规范性引用文件1
3 缩略语和符号1
3.1 缩略语 1
3.2 符号 1
4 方法原理与系统构成 4
4.1 方法原理4
4.2 系统构成4
5 计量单位与技术指标 4
5.1计量单位4
5.2 技术指标5
6 检定环境 6
6.1 外观要求6
6.2 安装场所要求 6
6.3 电源 6
6.4环境温度与湿度 6
7 检定项目与方法6
7.1 能量标检定 6
7.2 强度标检定24
7.3 横向分辨率检定 31
7.4 离子枪检定40
7.5 荷电控制与校正检定 50
8报告检定结果55
9 检定周期 55
参考文献 56
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GB/T 35158—2017
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本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)提出并归口。
本标准起草单位:厦门大学、清华大学。
本标准起草人:姚文清 、岑丹霞、张增明、徐建、刘芬、王水菊。
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GB/T 35158—2017
言
俄歇电子能谱仪(AES)r泛用于材料的实验性和常规性表面与界面分析,为纳米尺度的表面分析
仪器 。我国目前有多家公司几十台不同型号的该类仪器 。由于没有合适的检定方法的综合性国家标
准,仪器的能量标、强度标,溅射速率、横向分辨率等各项性能标准不统一,因此需要制定检定方法的国
家标准,以实现获取的谱图数据的科学性和可比性,这对于促进我国光电信息、能源及新材料等相关领
域的科技与产业的发展很有意义。
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GB/T 35158—2017
俄歇电子能谱仪检定方法
1范围
本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。
本标准适用于激发源为电子束 ,且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件 ,仅注日期的版本适用于本文
件 。凡是不注日
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