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强度计算的工程应用：微电子器件应力分析
1强度计算基础
1.1应力与应变的概念
1.1.1应力
应力（Stress）是材料内部单位面积上所承受的力，是衡量材料受力状态的
重要物理量。在微电子器件中，应力的产生主要来源于热胀冷缩、材料的不均
匀性、制造过程中的机械加工等。应力可以分为正应力（σ）和剪应力（τ），
正应力是垂直于截面的应力，剪应力则是平行于截面的应力。
1.1.2应变
应变（Strain）是材料在受力作用下发生的形变程度，是描述材料形变的物
理量。应变分为线应变（ε）和剪应变（γ），线应变是材料长度变化与原长的
比值，剪应
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