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太阳电池制造
工艺流程、工艺原理及工艺卫生
太阳电池制造过程(流程图)
硅片装盒去除硅片损伤层和形成绒面漂洗
甩干磷扩散形成p-n结*等离子体边缘腐蚀
腐蚀表面磷硅玻璃甩干PECVD沉积SiN*
印刷背面电极烘干印刷铝背场
烘干印刷正面电极烧结测试包装
带有*的为关键工艺，需对结果进行测量，必须满足设计值。
太阳电池制造过程(一)
■硅片装盒
硅片腐蚀去除硅片损伤层(和形成绒面)
■漂洗干燥
太阳电池制造过程(二)
■磷扩散形成p-n结
■等离子体边缘腐蚀
■腐蚀表面磷硅玻璃
■硅片烘干
太阳电池制造过程(三)
PECVD沉积SiN
利用硅烷(SiH?)与氨气(NH?)在等离子体中反应。
SiH?+NH?→SiNH+3H?
2SiH?+N?→2SiNH+3H?
太阳电池制造过程(四)
丝网印刷和烧结
太阳电池制造过程(五)
分类检测
包装入库
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