GB/T 25898-2010仪器化纳米压入试验方法　薄膜的压入硬度和弹性模量.pdf

ICS 19. 060 A 42 中华人民共和国国彖标准 GB/T 25898—2010 仪器化纳米压入试验方法 薄膜的压入硬度和弹性模量 Instrumented nanoindentation test — Indentation hardness and modulus of thin film 2011-01-10 发布 201 1-05-01 实施 GB/T 25898—2010 目 次 ,、/d • 、- T 刖有 I 引言 n 1范围1 2规范性引用文件1 3术语和定义、符号1 4测试原理 1 5测试要求 2 6测试程序 2 7 结果分析 5 8 试验报告 9 参考文献10 GB/T 25898—2010 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 请注意本标准的某些内容有可能涉及专利 。本标准的发布机构不应承担识别这些专利的责任。 本标准由中国科学院提出。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)归口。 本标准起草单位：宝山钢铁股份有限公司、中国科学院力学研究所。 本标准主要起草人:王秀芳、张泰华、宋洪伟、杨晓萍、杨荣、邮勇。 T GB/T 25898—2010 引 言 薄膜的硬度和弹性模量测量经常被作为一种控制其质量的手段 。对于微/纳米尺度的薄膜,采用常 规硬度试验方法难以准确地测定其硬度 ，而且不能测定其弹性模量 。近年来，仪器化纳米压入技术发展 迅速，正逐渐成为纳米力学表征领域最重要的试验方法之一 ，为测定薄膜的硬度和弹性模量提供了一种 有效手段。 利用仪器化纳米压入技术测定薄膜的硬度和弹性模量时 ，除了受到仪器、环境、方法以及测试人员 等诸多因素的影响之外 ，还可能受到样品本身，如支撑薄膜的基底、薄膜与基底匹配关系的影响 。有关 如何排除仪器等因素的影响 ，并选择合适的测试条件进行仪器化纳米压入试验，在 《GB/T 22458—2008 仪器化纳米压入试验方法通则》的相关条款中，已经做了详尽的规定 。本标准的主要目的是，提供尽可 能排除基底影响的薄膜的压入硬度和弹性模量测试方法。 n GB/T 25898—2010 仪器化纳米压入试验方法 薄膜的压入硬度和弹性模量 1范围 本标准规定了测试薄膜压入硬度和弹性模量的仪器化纳米压入试验方法。 本标准适用于附着在固体表面的薄膜 。压入方向为垂直于试样表面方向，压入深度范围通常在纳 米量级，也可以扩展至几微米。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 22458—2008仪器化纳米压入试验方法通则 GB/T 21838.4—2008金属材料硬度和材料参数的