《射频电源动态阻抗的测试方法》征求意见稿.pdf

ICS19.08

CCSK80

TGVS

团体标准

T/GVSXXX—2022

射频电源动态阻抗的测试方法

TestmethodfordynamicimpedanceofRFgenerator

（征求意见稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

广东省真空学会发布

T/GVSXXX—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学提出。

本文件由广东省真空学会归口。

本文件起草单位：深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、XXX、XXX。

本文件主要起草人：乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张军、张桂东、

张赛谦、郭冬、高飞、XXX、XXX、XXX。

本文件为首次发布。

II

T/GVSXXX—2022

射频电源动态阻抗的测试方法

1范围

本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、符号和缩略语、测试条件、数据测量流程、

射频电源动态阻抗系数应用场合。

本文件适用于在半导体刻蚀、薄膜沉积等应用中使用，输出频率范围在0.2MHz～100MHz的射频电

源产品。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB4793.1—2007测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第1部分：通用要求

GB/T11313.201射频连接器第201部分：电气试验方法反射系数和电压驻波比

SEMIE113半导体加工设备射频功率传输系统规范（Specificationforsemiconductor

processingequipmentRFpowerdeliverysystems）

SEMIE115确定半导体处理设备射频功率传输系统中使用的匹配网络的负载阻抗和效率的测试方

法（Testmethodfordeterminingtheloadimpedanceandefficiencyofmatchingnetworksused

insemiconductorprocessingequipmentRFpowerdeliverysystems）

SEMIE143测量50Ω负载的功率和变化以及任何相位角VSWR为2.0负载的功率变化和频谱的测试

方法（Testmethodformeasuringpowerandvariationintoa50-Ωloadandpowervariation

andspectrumintoaloadwithaVSWRof2.0atanyphaseangle）

3术语和定义

GB/T11313.201、SEMIE113、SEMIE115和SEMIE143界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

开环控制openloop

系统的输出量对系统的控制作用不产生任何影响的控制模式，即系统的输出端与输入端之间不存

在任何反馈的模式。

闭环控制closeloop

根据控制对