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一种可控制均匀性的排气孔调节装置及晶体加工设备.pdf

发布：2023-05-07约9.21千字共9页下载文档

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116092908 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202111307443.1 (22)申请日 2021.11.05 (71)申请人成都高真科技有限公司地址 61

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