GB/T 43748-2024微束分析　透射电子显微术　集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法.pdf

ICS71.040.50

CCSN33

中华人民共和国国家标准

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GBT437482024

微束分析透射电子显微术

集成电路芯片中功能薄膜层厚度的

测定方法

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MicrobeamanalsisTransmissionelectronmicrosco

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Methodformeasurinthethicknessoffunctionalthinfilmsin

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2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT437482024

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………2

5方法原理…………………2

6仪器设备…………………3

7试样………………………3

8试验步骤…………………4

9测量结果的不确定度评定………………6

10试验报告…………………6

()……

附录A资料性SiN薄膜层厚度测量结果的不确定度评定示例7

参考文献……………………10

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前言