真空技术及应用系列讲座 第三讲_机械真空泵02.pdf
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相似文档
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真空技术及应用系列讲座1真空科学的发展及应用.pdf
真空技术及应用系列讲座
第一讲：真空科学的发展及应用
李云奇
( 东北大学 )
一、 真空科学发展的历史回顾
人们或许是受翻译国外书刊的影响，通常在回顾真空科学发展史时，常常误认为 1643 年
托里析利的压力实验和 1650 年葛利克发明抽气机是对真空这一现象的最早发现，其实早在
公
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真空技术及应用系列讲座 第二讲_真空物理基础.pdf
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真空讲座 第三讲： 机械 真空泵.doc
第三讲：机械真空泵 [简介]: 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。
一、机械真空泵的分类及主要性能参量
????(一)机械真空泵的分类
????真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空
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《真空技术及真空泵原理与应用》课件.ppt
真空技术及真空泵原理与应用;目录;第一部分：真空技术概述;什么是真空？;真空技术的重要性;真空技术的历史发展;第二部分：真空泵基本原理;真空泵的定义和作用;真空泵的基本工作原理;真空泵的关键性能参数;真空泵的工作过程;第三部分：真空泵分类;按工作原理分类;气体传输泵：机械泵;气体传输泵：动力泵;气体捕集泵;按真空度分类;按结构分类;第四部分：真空泵应用领域;半导体行业应用;化工行业应用;制药行业应用;食品行业应用;冶金行业应用;电子行业应用;航空航天领域应用;科学研究领域应用;第五部分：真空系统组成;真空腔体;真空管道系统;真空阀门;真空测量设备;真空泵组合系统;真空系统辅助设备;第六部分：真
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Q_CWZK 001-2019真空技术 螺杆型干式真空泵.pdf
ICS 23.160 Q/CWZK
J 78
浙江创为真空设备股份有限公司企业标准
Q/CWZK 001—2019
真空技术 螺杆型干式真空泵
Vacuumtechnology Screw dryvacuumpump
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2019-11-25发布
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真空技术 真空泵噪声测量 编制说明.docx
《真空技术真空泵噪声测量》编制说明
（征求意见稿）
一、工作简况
1任务来源
本项目是根据国家标准化管理委员会国家标准制修订计划（国标委发[2023]64号文），计划编号T-604，项目名称“真空技术真空泵噪声测量”进行修订，主要起草单位：浙江真空设备集团有限公司，计划完成时间2025年。
2主要工作过程
起草（草案、论证）阶段：2024年1月4日，浙江真空设备集团有限公司收到计划批复文件。组织成立了标准编写修订工作组，确定工作方案，提出进度安排，工作组先后对国内外厂家进行了资料参阅和现场考察，咨询了国内外相关专家，了解了真空泵噪声测量方面的要求和方法，并广泛搜集和分析国内外相关标准及技术文献
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真空技术 真空泵噪声测量 编制说明.pdf
《真空技术真空泵噪声测量》编制说明
（征求意见稿）
一、工作简况
1任务来源
本项目是根据国家标准化管理委员会国家标准制修订计划（国标委发[2023]64号文），
计划编T-604，项目名称“真空技术真空泵噪声测量”进行修订，主要起草单
位：浙江真空设备集团有限公司，计划完成时间2025年。
2主要工作过程
起草（草案、论证）阶段：2024年1月4日，浙江真空设备集团有限公司收到计划批
复文件。组织成立了标准编写修订工作组，确定工作方案，提出进度安排，工作组先后对国
内外厂家进行了资料参阅和现场考察，咨询了国内外相关专家，了解了真空泵噪声测量方面
的要求和方法，并广泛搜集和分析国内外相关标准及
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GB/T 21271-2007真空技术 真空泵噪声测量.pdf
犐犆犛２３．１６０
犑７８
中华人 民共和 国国家 标准
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犌犅犜２１２７１ ２００７
真空技术 真空泵噪声测量
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犞犪犮狌狌犿狋犲犮犺狀狅犾狅 犖狅犻狊犲
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GB/T 21271-2007真空技术 真空泵噪声测量.pdf
犐犆犛２３．１６０
犑７８
中华人 民共和 国国家 标准
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犌犅犜２１２７１ ２００７
真空技术 真空泵噪声测量
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犞犪犮狌狌犿狋犲犮犺狀狅犾狅 犖狅犻狊犲
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真空技术对水环真空泵的几点看法(DOC19).doc
真空技术
对水环真空泵的几点看法 开发的几点看法 众所周知，由于水环真空泵和水环压缩机具有结构简单、使用维修方便的特点，因而在各行各业得到了广泛的应用。特别是具有等温压缩的特点，极易抽吸、压缩易燃易爆的气体。下面就其发展及设计开发谈几点粗浅的看法。 1 大型化 由于煤矿、化工、制药、造纸等行业的发展，对水环真空泵的要求越来越向大型化方面发展。在2000年以前，我国能生产抽气量在100m3／min以上的水环真空泵仅3-4个企业，全国年产量也不过几十台。而仅过了三年，到2003年全国能生产100m3／min以上的大泵的厂家达10多家(其中仅淄博地区就有7--8家)，据不完全统计，全国的大泵
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真空技术基础和的应用.ppt
表面脱气过程 例子: 10-3 mol H2O, 18 mg, 液态下 1.8x10-2 cm3; 气态下 2.4x10-2 ? at 1 atm 如果10-3 mol H2O 存在于器壁，并且脱气气压为 10-7 torr, 那么使用一台 1000 ?/s 的泵多长时间才能抽到10-8 torr? 初始抽气速率为： 10-7 torr * 1000 ?/s = 10-4 torr ?/s 总水量为： 1 atm * 2.4x10-2 ? = 760 torr * 2.4x10-2 ? = 1.8 x 101 torr ? 假设: 脱气速率 ∝ 剩余水量 ∝ P, i.e.
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真空技术基础和应用..ppt
Outlines(概述）: Key points (技术要点) Practical concerns :(实用技术） Surface (表面的真空特性) Material (真空材料的采用）: SUS（不锈钢）, Al alloy（铝合金）, ceramic（陶瓷）, plastic（塑料）, Baking（烘烤技术） Virtual leak（虚假漏气） Leak test （检漏技术） UHV （超高真空的获得） 什么是真空？ 真空：气体分子数量低于大气压状态的空间。但不是完全空的 真空术语 本底真空度：全密封真空腔体内抽空时
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真空技术基础和应用.ppt
指数衰减的例子；两条不同曲线下的面积相同，就是总抽气量相同012.3t=115hr减少10倍气压02对于内表面积大的腔体经常出现这样的情况03抽空时间常数=t04但是，大腔体≠大表面积出去厚的氧化物表面层:电抛光不锈钢腔体和部件表面清洗(NaOHsolution)Al合金部件酸洗铜/黄铜部件氧化物一般是多空的污染的表面通常是厚的，应避免强洗涤剂通常比溶剂更有效清洗12345怎样减小表面积？STEP5STEP4STEP3STEP2STEP1温度每升高100oC,脱气速率通常提高2个量级,i.e.,10-5torr而不是10-7torr初始抽气速率为：10-5torr*1000?/s=10-2to
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GB/T 40344.3-2024真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数.pdf
ICS23.160
CCSJ78
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT40344.32024ISO21360-32019
真空技术真空泵性能测量标准方法
:
第部分机械增压泵的特定参数
3
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VacuumtechnoloStandardmethodsformeasurinvacuumum
gygpp
—:
erformancePart3Secificarametersformechanicalboostervacuumums
ppppp
(:,)
ISO21360-32019IDT
2024-04-25发布2024-04-25实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—/
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GB/T 40344.3-2024真空技术 真空泵性能测量标准方法 第3部分：机械增压泵的特定参数.pdf
ICS23.160
CCSJ78
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT40344.32024ISO21360-32019
真空技术真空泵性能测量标准方法
:
第部分机械增压泵的特定参数
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VacuumtechnoloStandardmethodsformeasurinvacuumum
gygpp
—:
erformancePart3Secificarametersformechanicalboostervacuumums
ppppp
(:,)
ISO21360-32019IDT
2024-04-25发布2024-04-25实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
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