Harrick等离子清洗机操作规程.doc

Harrick等离子清洗机使用说明 一、设置 连接真空泵电源到插座。 连接等离子清洗机电源到插座。 将样品放入舱室内。 检查针阀和三通阀是关闭的。（处于垂直位置，如下图） 按住清洗舱舱门。 打开真空泵开关。大概几分钟后，舱室处于负压状态，真空状态会让舱门自动关闭。 打开气体钢瓶上的阀门，将压力调节在5~10PSI。 打开通向工艺气体的三通阀（针阀为水平位置，如下图） 轻轻地打开针阀让气体通入30-60秒。 打开清洗机前面板的电源开关。 将射频发生器功率开关调至合适的功率。 通过舱门的玻璃窗观察舱内，当产生辉光放电现象时，证明等离子体已激发。 调节针阀直到等离子体明显最大，这大概相当于最佳等离子生成的条件 样品处理一定时间，处理结束后，将RF电源旋至OFF。 关闭清洗机开关。 关闭气体钢瓶阀门。 用1-3分钟的真空泵抽出残余的工艺气体从舱室。 关闭针形阀。 关闭真空泵。 按住等离子清洗机舱门门并慢慢将三通阀打开至排气状态（水平指向排气，如下图）。 当舱室排气时，继续按住舱门。当达到常压后，离开舱门。 关闭三通阀。 取出样品