YS/T 1123-2016铂蒸发料.pdf
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H 68
中华人民共和国有色金属行业标准
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YST1123 2016
铂 蒸 发 料
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2016-07-11发布 2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
YS —
T1123 2016
铂 蒸 发 料
1 范围
、 、 、 、 、 、 、
本标准规定了铂蒸发料的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明书及订货单
( ) 。
或合同 内容
本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。
2 规范性引用文件
。 ,
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文
。 , ( ) 。
件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件
/ — 海绵铂
GBT1419 2004
/ : ( )
计数抽样检验程序 第 部分 按接收质量限 检索的逐批检验抽样计划
GBT2828.1 1 AQL
/ — 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GBT15077 2008
3 要求
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3.1 产品分类
产品按照化学成分分为 、 两个牌号。
3.1.1 IC-Pt99.95IC-Pt99.99
、 , 。 、 ,
产品主要分为片状 柱状 如图 所示 产品形状 定义及供货状态应符合表 的要求 需方有
3.1.2 1 1
其他要求时由供需双方协商解决。
说明:
———长度; ———长度;
A L
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