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MEMS的主要材料及其性能参数

一、主题/概述

二、主要内容（分项列出）

1.小MEMS的主要材料

硅

聚合物

金属

陶瓷

2.编号或项目符号

聚合物：轻质、柔韧，易于加工，但机械强度和热稳定性相对较低。

陶瓷：耐高温、耐腐蚀，但加工难度较大。

3.详细解释

聚合物：聚合物轻质、柔韧，易于加工，但机械强度和热稳定性相对较低。常用的聚合物材料有聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯等。

陶瓷：陶瓷具有耐高温、耐腐蚀的特性，但加工难度较大。常用的陶瓷材料有氮化硅、氧化铝等。

三、摘要或结论

本文介绍了MEMS的主要材料及其性能参数，分析了硅、聚合物、金属和陶瓷等材料的优缺点。通过对这些材料的了解，有助于优化MEMS的设计，提高其性能和可靠性。

四、问题与反思

①硅在MEMS中的应用有哪些限制？

②如何提高聚合物的机械强度和热稳定性？

③金属在MEMS中的应用有哪些挑战？

④陶瓷材料在MEMS中的应用前景如何？

[1]，.微机电系统[M].北京：科学出版社，2010.

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