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一种硅晶棒自动分段夹持装置.pdf

发布：2023-03-09约7.77千字共7页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213471768 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022207312.3 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人如皋卓远中乌第三代半导体产业

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