基于MEMS技术的光学读出非制冷红外成像系统研究的开题报告.pdf

基于MEMS技术的光学读出非制冷红外成像系统研

究的开题报告

一、选题背景

非制冷红外成像技术已经在人体医学、夜视、安防等领域广泛应用，

但目前的红外成像系统大多需要制冷设备，因此造价昂贵、体积大且不

便携带，限制了其在某些应用场合的使用。而基于MEMS技术的光学读

出非制冷红外成像系统可以在不需要制冷设备的情况下实现高灵敏度、

高分辨率的红外成像，同时具有体积小、低成本、低功耗等优点，是未

来红外成像技术的发展方向。

二、研究目标

本文旨在研究基于MEMS技术的光学读出非制冷红外成像系统，通

过设计制作微型化红外探测器并将其与MEMS光学系统结合，实现高灵

敏度、高分辨率的红外成像。

三、研究内容

1.对光学读出非制冷红外成像系统的原理进行研究，分析其相对于

传统红外成像技术的优势和局限性。

2.设计制作适用于MEMS光学系统的微型化红外探测器，探究不同

型号、不同材质、不同工艺制作的红外探测器的性能差异。

3.设计MEMS光学系统，包括光学透镜系统、光路、反射镜和控制

电路等，将其与红外探测器结合，实现红外成像。

4.对MEMS光学系统进行优化设计，提高系统的光学性能和可靠性。

5.进行系统集成和测试，并评价其性能指标。

四、研究意义

1.探索基于MEMS技术的光学读出非制冷红外成像系统的制作及应

用，在夜视、环境监测、载具导航等领域具有重要的应用前景。

2.为红外成像技术的发展提供新的切入点，进一步丰富红外成像技

术体系。

3.对光学读出非制冷红外成像系统的制作及应用进行研究，为未来

相关研究提供基础资料和经验参考。