超声键合变频式超声波发生器设计.pdf

维普资讯 第42卷第5期 电力 电子技 术 Vo1．42，No．5 2008年 5月 PowerElectronics May．2008 超声键合变频式超声波发生器设计 何将三 ，严 勇文，隆志力 (中南大学，湖南 长沙 410083) 摘要：用于超声键合工艺的超声波发生器是引线键合封装设备中的主要装置，其作埔是驱动换能器并使其处于谐振 工作状态，多工作频率点是未来换能器发展的一个重要方向。因为传统超声波发生器不具备多频段频率跟踪功能． 所 以构建了一种变频式超声波发生器，它可动态适应不同特性的换能器．具有通用、应片j面广等特性 变频式超声波 发生器基于嵌入式系统，采用快捷准确的直接数字频率合成 (DDS)及锁相环 (PLL)反馈方案，实现 了自动直找换能 器各谐振频率以及频率自动跟踪的功能。实践证明，变频式超声波发生器可驱动各种不同谐振频率的引线键合超声 波换能器，并达到换能系统工作时的快速锁相和准确锁频要求。 关键词：发生器；变频；换能器；锁相环 中图分类号：TN911．8 文献标识码：A 文章编号：1000—100X(2008)05—0082—02 DesignofFrequency—modulatedUltrasonicGenerator inUltrasonicBondingApplication HEJiang—san，YANYong—wen，LONGZhi—li (CentralSouthUnwe~io，Changsha410083，China) Abstract：Ultrasonicgeneratorfortheultrasonicbondwocessisthekeysystem inleadbondingpackagingequipment，its functionistodriveultrasonictransducerandkeepitinresonancestatus，anditsmultipleworkingfrequentiesisthekey applicationinthefuture．ThetraditionalultrasonicgeneratordoesnotownthePLLfunctioninawidefrequencyrange．This article constructs a type offrequency—modulated ultrasonic generatorwhich isable to adapttransducersofdifferent characteristicdynamicallyandhas thehighlightforgeneralpurposeandwideapplication．Basingonembeddedsystem and applyingagilitydependableDirectDigitalSynthesizer(DDS)andPhaseLockedLoop(PLL)feedbackscheme，frequency— modulatedultrasonicgeneratorcanfindeveryresonantfrequencyofthetransducerandkeepfrequencyautomatictracking． ． Th eexperimentalresultsshow thatfrequency-