GB/T 29504-2013300 mm硅单晶.pdf

ICS29.045 H 82 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT29504 2013 300mm硅单晶 300mmmonocrstallinesilicon y 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2013-05-09发布 2014-02-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT29504 2013 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC203 : 、 、 本标准起草单位 有研半导体材料股份有限公司 中国有色金属工业标准计量质量研究所 万向硅 、 。 峰电子股份有限公司 宁波立立电子股份有限公司 : 、 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 闫志瑞 孙燕 卢立延 张果虎 楼春兰 刘培东 向磊 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 Ⅰ / — GBT29504 2013 300mm硅单晶 1 范围 、 、 、 · · 、 本标准规定了直径 300mm p型 100晶向 电阻率 0.5Ω cm~20Ω cm硅单晶的技术要求 、 、 、 、 。 试验方法 检验规则以及标志 包装 运输 贮存等