三维柔性应变传感器的制备与性能研究.pdf
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摘要
摘要
柔性应变传感器作为柔性电子领域热门研究方向之一,具有轻薄、便携和可变
形等特点,在电子皮肤和智能可穿戴设备等领域具有巨大的应用前景。目前柔性应
变传感器的研究主要聚焦在一维和二维平面的拉伸与弯曲变形检测,这不能实现
三维结构器件的膨胀变形检测。而现有的三维柔性应变传感器研究主要用于实现
压力检测。目前三维柔性应变传感器研究主要存在的问题包括:缺乏完整的三维柔
性应变传感器结构设计和制备工艺,尚未建立三维结构柔性应变传感器检测流程,
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