用于硅片的高速搬运机构.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213483727 U
(45)授权公告日 2021.06.18
(21)申请号 202022241118.7
(22)申请日 2020.10.10
(73)专利权人 昆山莱崎龙精密技术有限公司
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