2025年等离子体沉积和刻蚀设备项目建议书.docx
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等离子体沉积和刻蚀设备项目建议书
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等离子体沉积和刻蚀设备项目建议书
目录
TOC\o1-9序言 4
一、等离子体沉积和刻蚀设备项目概论 4
(一)、创新计划及等离子体沉积和刻蚀设备项目性质 4
(二)、主管单位与等离子体沉积和刻蚀设备项目执行方 5
(三)、战略协作伙伴 6
(四)、等离子体沉积和刻蚀设备项目提出背景和合理性 7
(五)、等离子体沉积和刻蚀设备项目选址和土地综合评估 8
(六)、土木工程建设目标 10
(七)、设备采购计划 10
(八)、产品规划与开发方案 10
(九)、原材料供应保障 11
(十)、等离子体沉积和
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