超洁净气动波纹管泵.docx
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ICS23.020.01
ICS23.020.01
CCSJ20
团体标准
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超洁净气动波纹管泵
Ultra-cleanPneumaticDriveBellowsPump
求意见稿）
2024-10-01发布
2024-11-01实施
中国液压气动密封件工业协会
中国机械工程学会
发布
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目次TOC\o1-3\h\z\u
前言 IV
1范围 1
2规范性引用文件 1
3术语和定义 1
4泵结构、型号及参数 2
4.1泵结构 2
4.2型号 3
4.3主要性能参数 3
5要求 4
5.1总体要求 4
5.2关键部件 4
5.3生产制造 5
6技术要求 5
6.1金属污染物 5
6.2最大吸上高度 5
6.3噪声 5
6.4压力流量特性 5
7试验方法 5
7.1金属污染物试验 5
7.2最大吸上高度试验 6
7.3噪声试验 6
7.4压力流量特性试验 6
8检验规则 6
8.1检验分类及要求 6
8.2型式试验 6
8.3出厂检验 6
9 标志、包装、运输和贮存 7
附录A(资料性)污染物技术指标 8
附录B(资料性)超洁净气动波纹管泵规格参数表 10
附录C(资料性)超洁净气动波纹管泵数据表 11
附录D（规范性）离子含量、金属含量及总有机碳含量检测 12
参考文献 14
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超洁净气动波纹管泵
范围
本文件规定了超洁净气动波纹管泵的基本结构及型号、要求、技术要求以及试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于半导体制程用超洁净气动波纹管泵。
规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T7784-2018机动往复泵试验方法
GB/T7785往复泵分类和名词术语
GB/T11446.1电子级水
GB/T11446.8电子级水中有机碳的测试方法
GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T29845-2013半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则
GB/T33634液体泵安全要求液体静压试验
GB/T34672化学试剂离子色谱法测定通则
GB/T39486化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则
JJG821总有机碳分析仪检定规程
术语和定义
GB/T7785界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
超洁净气动波纹管泵ultra-cleanpneumaticdrivebellowspump
也称超洁净气动风囊泵，以压缩气体作为动力源，通过换向阀控制压缩空气依次进入气体腔，驱动波纹管往复运动，使得液体腔交替吸液和排液，实现液体输送的装置，该装置内过流部件均使用超纯PFA（可熔性聚四氟乙烯）、PTFE（聚四氟乙烯）材质制造。
注：本文件中“超洁净”或“超纯”系指部件污染物含量指标符合附录A的要求。
超纯水ultrapurewater（UPW）
经净化处理，25℃时在线电阻率大于等于18.2MΩ.cm，在线TOC小于1μg/L，细菌小于等于1个/100ml，在线溶解氧小于等于10μg/L，金属Fe、Cu、Ni、K、Na合计小于25ng/L（其中Fe小于5ng/L），其余