GB/T 14144-1993硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法.pdf

中华人民共和国国家标准 硅晶体中间隙氧含量径向变化 GB/T 14144一.9 测 量 方 法 Testmethodfordeterminationofradial interstitialoxygenvariationinsilicon 1主题内容与适用范围 本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。 本标准适用于室温电阻率大于0.1S2cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。侧量范围为 3.5x1015atcm-“至间隙氧在硅中的最大固溶度。 2 引用标准 GB1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收侧量方法 GB/T14143 30。一900[m硅片间隙氧含量红外吸收侧量方法 8 方法提要 根据待测硅晶体的生长工艺特点，在四种测量点选取方案中选择一种适用的方案。在规定的侧t 位置，按GB1557或GB/T14143规定的方法测定硅中间隙氧含量，并将其值代入计算公式，求出 间隙氧含量径向百分变化。 4测t仪器 4.1红外光谱仪。仪器分辩率小于5cm-’。 .‘之样品架。具备按选点方案要求作测量位置调整的功能.其光栏孔径为05一8mm, 4.8厚度侧量仪。精度优于2Wm. 4.4标准平面平晶。 4.578K低温侧量装置。 肠试样要求 5.1试样厚度约为2mm或。.3.0.9mma当间隙氧含量低于1X1010atcm-3时可选用厚度约为 5mm或1Omm的硅片。 5.2试样经双面机械抛光或化学抛光 (仅适用于单晶)，表面呈镜面，无桔皮状皱纹和凹坑。厚度为 0.3--0.9mm的试样表面应符合GB/T14143中5.1一5.2条的规定。 5.3试样在测量光栏孔径范围内，平整度应不大于2.2tim. 5.4作差别法测量的试样，其测量位置的厚度与参比样品的厚度差小于0.5%0 5.5仲裁侧量的试样需经双面机械抛光。 6测f点选取方案 二1方案A 国家技术监份局1998-02一06批准 1998一10-01实旅 GB/T 14144一.3 6.1.1mt点位置见图1。 图1方案A侧量点位置 试祥上选两个浏量点 (一个中心点和一个边缘点)。 :一:一: 中心点的位置，选在任意两条至少成45。相交的直径的交点上，偏离试样中心不大于1.0mm, : 边缘点的位置，应避开主参考面，选在与主参考面垂直或平行的直径上，距边缘10.0土1.0mm, :一: : 边缘点处存在副参考面时，同边缘末被副参考面截掉一样确定距边缘位置。 6. 2方案B 该方案有两种方法可供选择，侧声点位置见图2. 图2方案B侧量点位置 6.9.，方案B一1 .2.1.1试样上选三个测量点 (一个中心点和两个边缘点)。 6.2.1.2 中心点的选定方法同6.1.3条 CB/T 14144-93 6.2.1.3两个边缘点的中心位置，选在与主参考面平行的直径上，距两边缘10.0=1.Ommo 6.2.1.4边缘点处存在副参考面时，选取方法同6.1.5条。 6.2.2 方案R一2 6.2.2.1试样上选五个测量点 (一个中心点，两个边缘点和两个二分之一半径处测量点)。 6.2.2.2中心点的选取方法同6.1.3条: 6.2.2.3两个边缘点的选取方法同6.1.4一6.1.5条 6.2.2.4两个二分之一半径处侧量点的位置，选在与主参考面平行的直径七且与中心点对称的Rl2 1l.Omm处 (R为试样的半径)。 0.3方案C 6.3.1侧量点位置见图3. 6.3.2试样 卜选五个测量点 (一个中心点和四个边缘点)。 6.3.3 中心点的选取方法同6.1.3条。 6.3.4 四个边缘点的位置，分别选在两条相互垂直的直径上，距各边缘10.01LOmm。其中边缘点 1和点3所在的直径与主参考面垂直平分线的夹角为300。