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PECVD工序安全与操作规范正误判断相关测试卷.docx

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PECVD工序安全与操作规范正误判断相关测试卷

1.PECVD硅烷遇到空气会自燃或爆炸()*

对(正确答案)

2.自动化设备正常生产时可以屏蔽安全门()*

错(正确答案)

3.清扫碎片时无需佩戴护目镜()*

错(正确答案)

4.正常生产需佩戴棉布手套和PVC手套()*

对(正确答案)

5.处理机台掉片报警至少需要2名人员()*

对(正确答案)

6.上料花篮放置在导轨上时,有三孔的一侧朝下()*

对(正确答案)

7.PECVD只有氮气和氨气两种气体。()*

错(正确答案)

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