2025年半导体测试项目简介优选 .pdf

非淡泊无以明志，非宁静无以致远。——诸葛亮

半导体测试项目简介

半导体测试项目简介

目录：

1，测量可重复性和可复制性(GRR)

2，电气测试可信度（ElectricalTestConfidence）

3，电气测试的限值空间（Guardband）

4，电气测试参数CPK

5，电气测试良品率模型（testyield)

6，晶圆测试和老化(WaferlevelTestandburn-in)

7，Boundary-Scan测试/JTAG标准

8，自我测试电路（Built-inSelfTest)

9，自动测试图形向量生成（ATPG）

1GRR是用于评估测试设备对相同的测试对象反复测试而能够得到重复读值的能力

的参数。也就是说GRR是用于描述测试设备的稳定性和一致性的一个指标。对于半导体测试设备，这一

指标尤为重要。

从数学角度来看，GRR就是指实际测量的偏移度。测试工程师必须尽可能减少设备的GRR值，过高的

GRR值表明测试设备或方法的不稳定性。

如同GRR名字所示，这一指标包含两个方面：可重复性和可复制性。可重复性指的是相同测试设备在同

一个操作员操作下反复得到一致的测试结果的能力。可复制性是说同一个测试系统在不同操作员反复操作

下得到一致的测试结果的能力。

当然，在现实世界里，没有任何测试设备可以反复获得完全一致的测试结果，通常会受到5个因素的影响：

1，测试标准

2，测试方法

3，测试仪器

4，测试人员

5，环境因素

所有这些因素都会影响到每次测试的结果，测试结果的精确度只有在确保以上5个因素的影响控制到最小

程度的情况下才能保证。

有很多计算GRR的方法，下面将介绍其中的一种，这个方法是由AutomotiveIdustryActionGroup(AIAG)

推荐的。首先计算由测试设备和人员造成的偏移，然后由这些参数计算最终GRR值。

EquipmentVariation(EV)：代表测试过程（方法和设备）的可重复性。它可以通过相同的操作员对测试目

标反复测试而得到的结果计算得来。

先天下之忧而忧，后天下之乐而乐。——范仲淹

AppraiserVariation(AV)：表示该测试流程的可复制性。可以通过不同操作员对相同测试设备和流程反复测

测试所得数据计算得来。

GRR的计算则是由上述两个参数综合得来。

必须指出的是测试的偏移不仅仅是由上述两者造成的，同时还受PartVariation（PV）的影响。PV表示测

试目标不同所造成的测试偏差，通常通过测试不同目标得到的数据计算而来。

现在让我们来计算总偏差：TotalVariation（TV），它包含了由RR和PV所构成的影响。

TV=sqrt((RR)**+PV**)

在一个GRR报表中，最终的结果往往表示成：%EV,%AV,%RR,和%PV。他们分别表示EV,AV,RR

和PV相对TV的百分比。因此

%EV=(EV/TV)x100%

%AV=(AV/TV)x100%

%RR=(RR/TV)x100%

%PV=(PV/TV)x100%

%RR如果大于10%，则此测试设备和流程是良好的；%RR在10%和30%之间表示可以接受