微电子技术及其应用.ppt

微电子技术及其在当今社会中的应用 微电子和微电子技术 半导体材料与 半导体集成电路工艺技术 微电子技术发展及现状 微电子技术应用和作用 微电子和微电子技术 微电子 微型的电子电路 微电子技术 微型电子电路技术 半导体材料和半导体集成电路 半导体及其基本特性 当半导体中的杂质含量很高时，电导率很高，呈现一定的金属性； 纯净半导体在低温下的电导率很低，呈现出绝缘性。 半导体材料和半导体集成电路 集成电路中的基本元件结构 阴极 阳极 集电极 基极 发射极 源极 栅极 漏极 N P N P N+ N+ 金属 N+ P型衬底 P型衬底 P型衬底 P型阱 PN结二极管 NPN晶体管 nMOS晶体管 半导体集成电路工艺技术 双极集成电路工艺 砷 注 入 SiO2 SiO2 p_si 衬底 （a）埋层制备 半导体和半导体集成电路 双极集成电路工艺 N外延层 P衬底 N+ 埋层 (b) 外延层制备 半导体集成电路工艺技术 双极集成电路工艺 光致抗蚀剂 钝化层 N外延层 N+ P （c）隔离区窗口制备 半导体和半导体集成电路 双极集成电路工艺 沟道隔断区硼离子注入 N N N+ P (d) 氧化物隔离区制备(1) 半导体集成电路工艺技术 双极集成电路工艺 N N SiO2 P+ N+ P+ 沟道隔断区 P (e) 氧化物隔离区制备(2) 半导体集成电路工艺技术 双极集成电路工艺 基区硼离子注入